教員の紹介
研究者情報
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学位
博士（工学）
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担当授業科目
オホーツク地域と環境，??????総合工学概論，電気磁気学，安全工学概論，??????工学実験I，??????工学実験II，電気??????応用，??????総合工学I，??????総合工学II，地球環境工学入門
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専門分野
電子材料工学、薄膜工学、半導体プロセス工学
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研究テーマ
3次元LSIにおける材料開発に関する研究，オホーツク特産品の有効活用に関する研究
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所属学会
電子情報通信学会，応用物理学会
研究室の概要
現在、エネルギー資源の有効利用や地球環境の保全の両立が課題となっています。私たちは、グリーンエネルギーの中でも、特に太陽光発電に着目し、高効率な太陽電池材料の探索と太陽電池の作製、いつでもどこでも発電できるフレキシブルな大陽電池などの研究を行っています。また、未来の社会に役立つ新たな情報端末などに欠かせない3次元集積回路の配線材料に関する研究など、先端技術を駆使した新たな材料の開発や作製方法などを研究しています。
一方、地域に根ざした地域密着型の研究として、北見あるいはオホーツク地方に貢献できるよう、オホーツク特産品のブランド価値向上、ＩｏＴを活用したスマート農業のあり方などにも取り組んでいて、様々な応用を展開しているので、あなたたちのやりたいことがきっと見つかります。
研究室の研究テーマ
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太陽電池に関する研究（結晶Si系、色素増感など）
太陽電池は、これまでの住宅やビルの屋根の上に載せるタイプだけでなく、持ち運び可能な小型で軽量タイプの太陽電池の開発が求められています。私たちは、これまでの太陽電池を高性能にするための材料開発と共に、新しいタイプ太陽電池に関しても熱に弱いフレキシブルな基板へ適用するために”低温で作製する”をキーワードに材料?プロセスなどの研究を行っています。特に、色素増感太陽電池に関しては学会賞を受賞しています。
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3次元集積回路のシリコン貫通ビア(TSV)に関する研究
私たちは、一番難しいと言われている、TSVを最後に作るビア?ラストプロセスを実現するための研究をしています。具体的には、LSIを作製した後の工程なので、200℃以下の低温でTSVを作ることが求められています。私たちは、Cu配線の拡散バリヤとSiとの絶縁をとるためのSiNx絶縁膜の両方を200℃以下で作る独自の技術を構築しています。また、それらの膜は、低温でもとても高性能であり、優れた特性を示すことがわかっています。この研究は2015年度電気学会C部門誌論文奨励賞を受賞しています。
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オホーツク特産品のブランド価値向上計画
オホーツク地方は、豊かな自然と豊富な資源に恵まれた地域です。特に鮭などの水産品、エゾシカなどの食肉に関して、私たちは”電気”という立場からのアプローチを行い、オホーツク特産品のブランドイメージを高める研究をしています。これは、地域密着型ですぐに役に立つ研究です。このような地域貢献も視野に入れた研究に取り組んでいます。